电浆是一种由自由电子和带电离子为主要成分的物质形态,广泛存在于宇宙中,常被视为是物质的第四态,被称为电浆态,或者“超气态”,也称“电浆体”。电浆体具有很高的电导率,与电磁场存在极强的耦合作用。它是部分电离的气体,由电子、离子、自由基、中性粒子、及光子组成。
电浆体本身是含有物理和化学活泼粒子的电中性混合物,这些活泼自由基粒子能够做化学功,而带电原子和分子通过溅射能够做物理功,通过物理轰击和化学反应,电浆工艺能够完成各种材料表面改性,包括表面活化、污染物去除、刻蚀等功效。
大气常压电浆设备|常压可用于塑胶/玻璃表面清洗以及提高表面能增加后续工艺的附着强度。
真空低压电浆设备 |PR低压表面清洁/活化/增加表面粗造度,效率高缩短工作时间。
低温电浆设备|表面清洁/活化/增加表面粗造度,能量低。